서브나노 검사

광학 Lens 보상 알고리즘을 통한 영상처리시스템

Pixel Defect , Dot Defect , Mura , Particle 등의 여부를 광학 Lens 보상 알고리즘과 Image Processing을 병행 사용하여 자동으로 판단하는 Algorithm 개발 적용

  • 1차 획득 영상디포커싱 촬상으로 모아레가 없는 영상 획득, 이미지가 뚜렷하지 않아 Pixel Defect인지 이물인지의 여부를 확인하기 어려움
  • 2차 획득 영상액츠㈜에서 개발한 특수 알고리즘(광학적 보상 알고리즘 및 업체의 이미지 보상 알고리즘) 을 적용하여 약 8배 가량 이미지의 정밀도를 개선함
  • 3차 획득 영상 및 양불2차 보상된 이미지를 샘플링 처리하여 Pixel Defect와 이물을 분리하여 양불 판정