3D 서브나노 검사

액츠(주)의 특징 및 장점

  • 저해상도 카메라를 이용하여 고해상도 이미지 획득 >> 광학 설계 보정을 통한 이미지 강화 알고리즘
      국내 유일 독자 액츠㈜ 알고리즘 >> 원가 절감 효과, 고속 처리 가능
  • 단일 카메라를 이용하여 고해상도 검사 가능(FHD , QHD, UHD) >> 자체 광학 설계 및 자체 개발 이미지 프로세싱 알고리즘을 통한 실현
  • 자체 개발 광각 렌즈를 사용하여 장비 크기가 Compact함 >> 광학렌즈 직접 설계로 Working Distance 축소 , 화각(Viewing Angle) 확대
  • 액츠㈜에서 자체 설계한 특수 편광 조명으로 다양한 형태의 이미지 획득 가능
  • Distortion , Keystone , Moire 자동 보정 기술 >> 액츠㈜에서 자체 설계 렌즈 및 자체 개발한 광학 보정 및 초고속 자동 처리 알고리즘 적용
  • Sub 나노미터 이하까지 측정 할 수 있는 광학 기술 보유 >> L사 , S사 등과 협업하여 납품한 다양한 현장 경험 확보

5µm 단위의 영상 처리를 위한 카메라와 방법

  • 일반적으로 10인치 급 Object는 가로 36,000픽셀, 세로 36,000픽셀의 정보로 구성하여야 5µm 단위의 영상을 정확하게 분석할 수 있다.
  • 실제적으로 1장의 영상 정보로 5µm 단위로 분석할 수 있는 영상을 획득하기 어려우므로 여러 장으로 나누어 영상을 획득하고 나누어진 영상을 이용하여 하나의영상으로 합성하여 불량 판별을 해야 하므로 많은 계산량과 메모리가 필요하게 된다. 따라서 검사하고 판별하는데 많은 시간이 요구되는 것이다.
  • 이러한 단점을 개선하고자 액츠㈜에서는 새로운 개념의 영상획득방법과 자체적으로 개발한 광학 특성 보정 알고리즘을 사용한다
  • 낮은해상도의 카메라를 이용하지만 광학적인 보상 알고리즘을 통해 보정된 높은 해상도의 영상을 획득하여 ,검사하고 판별하는 처리시간을 획기적으로 개선함과 동시에 검사의 정확도를 높일 수 있는 기술을 적용한다.
  • 예를 들면 액츠㈜에서 개발한 알고리즘을 이용하면 영상을 획득 하기 위해서 50mega이상의 고해상도 카메라를 이용하는 대신에 25mega카메라로 영상 획득이 가능하고, 이 획득된 영상을 광학보정영상으로 변환하면 50M이상의 카메라를 통해 얻은 영상보다도 더욱 정밀한 영상 처리 효과를 얻을 수 있다.
  • 이를 바탕으로 영상 처리 속도를 향상시키고 영상 처리 속도 가속 알고리즘을 통하여 한 번 더 속도를 향상시킨다

조명-편광조명 시스템

  • DEFECT및 이물 검사시스템에 특화된 편광 조명을 사용함으로 좀더 많은 광학 정보가 포함된 영상 이미지 획득 가능하며 이를 광학계의 수차 및 빛의 특성을 알고리즘에 적용하기 위하여 액츠㈜ 자체 조명 시스템을 적용한다.(렌즈 및 광학계와 조명 시스템)